著录信息
- 专利名称：一种具有温控系统的恒温油槽装置
- 专利类型：实用新型
- 申请号：CN201620007572.7
- 公开(公告)号：CN205302041U
- 申请日：20160104
- 公开(公告)日：20160608
- 申请人：中国电子信息产业集团有限公司第六研究所
- 发明人：杨文龙,黄兵,马保全,张晓莉,闫少勃,贾鹏林
- 申请人地址：100085 北京市海淀区清华东路25号
- 申请人区域代码：CN110108
- 专利权人：中国电子信息产业集团有限公司第六研究所
- 洛迦诺分类：无
- IPC：G05D23/30
- 优先权：无
- 专利代理机构：北京中海智圣知识产权代理有限公司 11282
- 代理人：胡静
- 审查员：无
- 国际申请：无
- 国际公开(公告)：无
- 进入国家日期：无
- 分案申请：无
关键词
半导体片,温控系统,油槽,隔热保温,隔热装置,恒温油槽,机械结构,棉层,体内,温度控制技术,采集数据,快速切换,实用,检定,壳体,贴附,外壁,温控,设置
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